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降冰片烯聚合物是一種比較特殊的聚合物。降冰片烯與丙烯酸酯、苯乙烯共聚物可用于193nm、157nm光刻材料，是微電子工業(yè)發(fā)展所必需要的抗蝕劑、保護薄膜等材料。它具有優(yōu)良的耐熱性、抗蝕性、可溶性及透明性等優(yōu)點。

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，為了進一步改進材料的性能，降冰片烯與丙烯酸酯、苯乙烯共聚也從二元共聚開始發(fā)展三元共聚。稀土絡合物作為催化劑用于高分子合成已有很多成功例子，如稀土催化劑用于丁二烯與丙烯共聚、降冰片烯與乙烯共聚中。

我們在前期研究中發(fā)現(xiàn)，稀土絡合物催化合成高分子具有選擇性好、催化效率高、催化活性好、反應時間短；應用于共聚中，產物交替度高、聚合物分子量分散性小、立體選擇性好等優(yōu)點，并且催化劑廉價易得。我們在稀土催化劑催化降冰片烯與丙烯酸酯共聚前期工作時，發(fā)現(xiàn)上述優(yōu)點尤為突出。

本研究用稀土催化降冰片烯與苯乙烯、丙烯酸酯等三元共聚，克服自由基共聚共聚物收率低、聚合率慢的缺點。研究不同稀土化合物的聚合活性和選擇性的影響規(guī)律，開發(fā)了高效的稀土催化劑和新的聚合反應。用稀土催化劑配合使用不同金屬催化劑控制降冰片烯與苯乙烯、丙烯酸酯等三元共聚物結構和分子量，改進共聚物的性能，獲得了性能優(yōu)良的共聚物光刻材料。

降冰片烯聚合物是一種比較特殊的聚合物,降冰片烯與丙烯酸酯、苯乙烯共聚物可用于193nm、157nm光刻材料,是微電子工業(yè)發(fā)展所必需要的抗蝕劑、保護薄膜等材料,它具有優(yōu)良的耐熱性、抗蝕性、可溶性及透明性等優(yōu)點。隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,為了進一步改進材料的性能,降冰片烯與丙烯酸酯、苯乙烯共聚也從二元共聚開始發(fā)展三元共聚。稀土絡合物作為催化劑用于高分合成已有很多成功例子,如稀土催化劑用于丁二烯與丙烯共聚、降冰片烯與乙烯共聚中。我們在前期研究中發(fā)現(xiàn)稀土絡合物催化合成高分子具有選擇性好、催化效率高、催化活性好、反應時間短;應用于共聚中產物交替度高、聚合物分子量分散性小、立體選擇性好等優(yōu)點,并且催化劑廉價易得。我們在稀土催化劑催化降冰片烯與丙烯酸酯共聚前期工作時,發(fā)現(xiàn)上述優(yōu)點尤為突出。本研究用稀土催化降冰片烯與苯乙烯、丙烯酸酯等三元共聚,克服自由基共聚共聚物收率低、聚合率慢的缺點。研究不同稀土化合物的聚合活性和選擇性的影響規(guī)律,開發(fā)了高效的稀土催化劑和新的聚合反應。用稀土催化劑配合使用不同金屬催化劑控制降冰片烯與苯乙烯、丙烯酸酯等三元共聚物結構和分子量,改進共聚物的性能,獲得了性能優(yōu)良的共聚物光刻材料。