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專利基本信息
專利名稱 一種碲錳鎘晶體透射電鏡截面樣品的制備方法
專利狀態(tài) 專利權(quán)維持 專利號（申請?zhí)枺?/th> ZL201810547937.9
專利申請日期 - 專利類型 發(fā)明專利
申請公布號 - 申請公布日 -
授權(quán)公告號 - 授權(quán)公告日 -
發(fā)明人 -
專利權(quán)人 -
專利摘要 本發(fā)明涉及一種碲錳鎘透射電鏡截面樣品的制備方法，步驟一：第一面初磨，待磨光碲錳鎘透射電鏡樣品依次用9μm金剛石薄膜、3μm金剛石薄膜和1μm金剛石薄膜進(jìn)行第一面磨光得到初磨樣品；步驟二：樣品支撐，用砷化鎵對步驟一得到的初磨樣品的磨光面進(jìn)行支撐；步驟三：第二面預(yù)減薄至出現(xiàn)楔形薄區(qū)，依次用9μm的金剛石薄膜、3μm的金剛石薄膜和1μm的金剛石薄膜進(jìn)行初磨樣品的第二面磨光得到預(yù)減薄的具有楔形薄區(qū)的樣品；步驟四：楔形薄區(qū)精密減薄，用離子減薄儀對步驟三得到的具有楔形薄區(qū)的預(yù)減薄樣品進(jìn)行精密減薄。本發(fā)明不需要用傳統(tǒng)凹坑儀進(jìn)行凹坑，避免了凹坑過程引入的缺陷。精密減薄過程僅需2～4小時，大大降低了離子束轟擊造成的缺陷。三天時間可制備一個或一批碲錳隔透射電鏡截面樣品，成功率高。
專利價值評估分析
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