專利基本信息
| 專利名稱 | 一種利用飛秒激光多路并行技術(shù)制備衍射光柵的裝置 | ||
|---|---|---|---|
| 專利狀態(tài) | - | 專利號（申請?zhí)枺?/th> | CN213934277U |
| 專利申請日期 | 2021-05-11 | 專利類型 | 實(shí)用新型專利 |
| 申請公布號 | 2020225452494 | 申請公布日 | 2021-05-11 |
| 授權(quán)公告號 | - | 授權(quán)公告日 | - |
| 發(fā)明人 | 王偉 | ||
| 專利權(quán)人 | 山東交通學(xué)院 | ||
| 專利摘要 | 一種利用飛秒激光多路并行技術(shù)制備衍射光柵的裝置,該裝置包括飛秒激光系統(tǒng)、第一準(zhǔn)直光闌,第二準(zhǔn)直光闌,二分之一波片、格蘭泰勒偏光鏡、電子高速快門、第一計(jì)算機(jī)、第一凸透鏡、針孔濾波器、第二凸透鏡、雙色鏡、Dammann光柵、匯聚透鏡、三維精密移動(dòng)平臺、附有金屬膜的玻璃基片、照明光源、半透半反鏡、CCD相機(jī)、第二計(jì)算機(jī)、氦氖激光光源。該實(shí)用新型基于Dammann光柵均勻分束性質(zhì)實(shí)現(xiàn)飛秒激光多路并行直寫加工,***提升了加工效率;加工過程采用LabView軟件編寫控制程序,可一次性完成光柵加工,調(diào)節(jié)方便;采用CCD相機(jī)實(shí)時(shí)觀測加工光柵的表面形貌及反射光衍射圖樣,保證了加工質(zhì)量。本實(shí)用新型在利用飛秒激光制備光柵方面具有良好的應(yīng)用前景。 | ||
專利價(jià)值評估分析
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