專利基本信息
| 專利名稱 | 一種多元合金靶材、多元金屬/氮化物復合涂層及其制備方法 | ||
|---|---|---|---|
| 專利狀態(tài) | 專利權維持 | 專利號（申請?zhí)枺?/th> | ZL201910575465.2 |
| 專利申請日期 | - | 專利類型 | 發(fā)明專利 |
| 申請公布號 | - | 申請公布日 | - |
| 授權公告號 | - | 授權公告日 | - |
| 發(fā)明人 | - | ||
| 專利權人 | - | ||
| 專利摘要 | 本發(fā)明公開了一種多元合金靶材、多元金屬/氮化物復合涂層及其制備方法，該多元合金靶材為Ti?Al?Cr?Zr?Mo合金；該復合涂層以鈦合金為基體材料，以Ti?Al?Cr?Zr?Mo多元合金為靶材，包括一組或多組沿基體材料依次生長的金屬層和氮化物層。該復合涂層的制備方法為：對鈦合金基體依次進行離子轟擊清洗，采用多弧離子鍍對轟擊清洗的基體進行多元金屬層沉積；在多元金屬層之上沉積多元氮化物層，得多元金屬/氮化物復合涂層。本發(fā)明通過合理設計多元合金靶材的成分，使復合涂層與基體之間相互匹配，使涂層具有良好的抗沖蝕、抗腐蝕、抗氧化性能，且提高涂層與鈦合金基體的結合力。 | ||
專利價值評估分析
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樣例
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