專利基本信息
| 專利名稱 | 倒四棱錐臺/四棱錐形狀減反微納結(jié)構(gòu)的制造方法及系統(tǒng) | ||
|---|---|---|---|
| 專利狀態(tài) | - | 專利號（申請?zhí)枺?/th> | CN111055009B |
| 專利申請日期 | 2019-12-29 | 專利類型 | 發(fā)明專利 |
| 申請公布號 | CN201911386649.0 | 申請公布日 | 2019-12-29 |
| 授權公告號 | - | 授權公告日 | - |
| 發(fā)明人 | 李明,李珣,劉紅軍 | ||
| 專利權人 | 中國科學院西安光學精密機械研究所 | ||
| 專利摘要 | 一種倒四棱錐臺/四棱錐形狀減反微納結(jié)構(gòu)的制造方法及系統(tǒng),系統(tǒng)包括飛秒激光器、光路傳輸系統(tǒng)、矩形平頂整形單元和高倍率聚焦顯微物鏡。先根據(jù)系統(tǒng)的最優(yōu)制造焦深,將倒四棱錐臺/四棱錐形狀分為n層,計算每一層的層面尺寸,調(diào)整系統(tǒng)使其焦面位于倒四棱錐臺/四棱錐第1層的h/2位置處,用整形匯聚后的矩形平頂光,對該層加工；依次類推直至第n層。本發(fā)明解決現(xiàn)有技術控形能力差及加工能力受限的問題,采用按層面尺寸依次加工,得到深度在百微米級的減反微納結(jié)構(gòu),提高了減反微納結(jié)構(gòu)的減反增透率；通過光斑整形按層面尺寸依次加工,提高了激光微納加工的控形能力；自上而下加工,加工深徑比更大。 | ||
專利價值評估分析
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樣例
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