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專利基本信息
專利名稱 一種二硫化錫/三硫化二錫/硫化亞錫異質(zhì)結(jié)薄膜的制備方法
專利狀態(tài) 專利權(quán)維持 專利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)枺?/th> 201610527980X
專利申請(qǐng)日期 2016-07-07 專利類型 發(fā)明專利
申請(qǐng)公布號(hào) 201610527980 申請(qǐng)公布日 2016-07-07
授權(quán)公告號(hào) - 授權(quán)公告日 -
發(fā)明人 -
專利權(quán)人 許昌學(xué)院
專利摘要 本發(fā)明公開了一種二硫化錫/三硫化二錫/硫化亞錫異質(zhì)結(jié)薄膜的制備方法,先用磁控濺射儀在FTO導(dǎo)電玻璃上濺射不同厚度的Sn,稱取不同量的硫粉,在管式爐中硫化得到SnS2,用無水乙醇、蒸餾水各洗滌3次,真空干燥。再用磁控濺射儀上在SnS2導(dǎo)電玻璃上濺射Sn,放在管式爐中真空燒結(jié),得到目標(biāo)產(chǎn)物。本法用磁控濺射的方法得到致密的Sn,在真空下燒結(jié)通過固相反應(yīng)得到目標(biāo)產(chǎn)物。本方法操作簡單,對(duì)環(huán)境無污染,反應(yīng)周期短,形成致密的薄膜。
專利價(jià)值評(píng)估分析
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